AMC(airborne molecular contamination) 모니터링 시스템에서 샘플러(Sampler)는 공기 중의 오염 물질(산성, 염기성, 응축성 유기물, 파티클 등)을 수집하여 분석 장치로 전달하는 핵심 부품입니다. 쉽게 말하면 공기 채취 장치인데, 어떤 방식으로 오염 물질을 잡아내느냐에 따라 여러 종류가 있습니다.
AMC 샘플러 의 기본 역할
1) 클린 룸 공기를 일정한 유량으로 흡입
2) 타겟 AMC 성분을 선택적으로 포집 (예: 산성 기체, 유기용매 증기 등)
3) 포집 된 AMC를 분석 장비(CRDS, GC-MS, Ion Chromatography, PTR-MS 등)로 전달
AMC 모니터링 샘플러는 분석 목적(산성, 염기성, 유기물, 실시간/장기평균)에 따라 액체 임핑저, 고체 소르벤트 튜브, 수동형(diffusive) 또는 온라인 직접 방식으로 구분됩니다.
