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HF, HCl 및 NH3를 동시에 모니터링 실시간으로, T-I MAX X3 AMC 모니터링 솔루션

반도체 클린룸, FOUP 세척 도구, 서브 팹 환경에서 공기 중 분자 오염 물질을 감지하고 지속적으로 모니터링하기 위한 차세대 미량 가스 분석기. 장치 최종 테스트 단계에서 치명적인 제품 성능 또는 수율 손실이 발견될 때 공기 중 분자 오염 물질(AMC)을 "찾는" 데 오랜 시간을 할애할 수 있습니다. 또는 TIGER OPTICS™ T-I Max™ 시리즈 분석기를 배치하여 장비, 인력, 웨이퍼 캐리어 및 클린룸 베이 내부 및 주변에 일반적으로 숨어 있는 보이지 않는 결함 발생기를 찾아 모니터링할 수 있습니다.

  • Operating range

  • See table below

  • Detection limit (LDL, 3σ@100s)

  • See table below

  • Precision (1σ, greater of)

  • ± 0.75% or 1/3 of LDL

  • Accuracy at span

  • ± 4% of reading

  • Accuracy at zero

  • See table below

  • Speed of response @ 20ppb (T10/90 + T90/10)

  • See table below

  • Environmental conditions

  • 10°C to 40°C, 10% to 90% RH (non-condensing)

  • Sample conditions

  • 30% to 70% RH at 20°C, 20% to 50% RH at 25°C, 15% to 40% RH at 30°C

  • Storage temperature

  • –10°C to 50°C

  • Platform

  • Max X series analyzer

  • Alarm indicators (per channel)

  • 2user programmable,1system fault,Form C relays

  • Power requirements

  • 100 − 240 VAC, 50/60 Hz

  • Power consumption

  • 50 Watts max.

  • Signal output

  • Isolated 4−20 mA per sensor

  • User interfaces

  • 10.4” LCD touchscreen, 10/100 Base-T Ethernet USB, RS-232, RS-485 Modbus TCP (optional)

  • Data storage

  • Internal or external Flash drive

  • Certification

  • CE Mark

Other